kSA RateRat Pro 是一款紧凑式、方便易用的薄膜光学性能表征设备,可实时、原位测量薄膜光学常数n和k、沉积速率和薄膜厚度。

kSA RateRat ProkSA RateRat是一款紧凑式、方便易用的薄膜光学性能表征设备,主要用于实时薄膜沉积工艺控制和半透明薄膜测量。kSA RateRat采用独有的算法,通过最小二乘法对反射率曲线进行实时拟合获取薄膜光学常数。

kSA RateRat能测量厚度不小于600 Å薄膜的沉积速率、薄膜厚度和光学常数(n和k),并且根据您不同的应用和薄膜材料,提供了多种可选单元,包括不同的激光/LED波长(405、532、658、950和1050 nm),以及各种软件功能。kSA RateRat基本可与任何类型的沉积方式兼容,包括分子束外延(MBE)、金属有机化学气相沉淀(MOCVD)、溅射和脉冲激光沉积 (PLD)等。对于需要高精度沉积电介薄膜、半导体薄膜及涂层的研究实验室、工艺设备,这款工具都是必备的不二之选。

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