kSA ICE是一种模块化的全功能型原位监测系统，专为目前金属有机化学气相沉淀（MOCVD）和分子束外延（MBE）而设计，系统整合了kSA MOS 原位薄膜应力测量, kSA BandiT 晶元温度测量 and kSA RateRat Pro 生长速率测量 生长速率测量的独家专利技术以及发射率校正高温计（ECPR）模块。模块化的设计，让您可以自由选择组合kSA ICE的配置。

您只需提出您的测试要求，接着k-Space会为您配置合适的系统方案。此外，k-Space还会根据测量需求、薄膜沉积方式、腔室配置和薄膜衬底相关材料，为您定制合适的系统方案。

kSA ICE测量系统将不同的测量模块集成到一个光学探头中，从而能实时测量温度、反射率、生长速率、薄膜厚度、衬底曲率和薄膜应力。同时kSA ICE系统可以对转速达1500RPM晶元进行测量。kSA ICE让您在深入了解金属有机化学气相沉淀（MOCVD）或分子束外延（MBE）工艺流程的同时，还能最大限度地提高器件性能，并保持最优工艺，提高产量。

查看用于金属无机化学气相沉积（MOCVD）的kSA ICE产品规格表（英文版） →
查看用于分子束外延（MBE）的kSA ICE产品规格表（英文版） →