晶片曲率、翘曲度和倾斜度表征

• 标准晶圆尺寸：2英寸、3英寸、100毫米、150毫米、200毫米和300毫米。晶圆/样品表面像镜面或接近镜面（即样品具有一定的反射率）
• 可定制测量尺寸和样品支架（需单独报价）
• 扫描类型：
  • 线扫描
  • 可选定区域扫描、整个晶圆全面积扫描(需扣除5毫米边缘)
• 扫描分辨率：1微米
• 最大曲率半径和曲翘度取决于样品大小。如果曲率半径>=10米，设备可对直径300毫米的晶圆进行全面积扫描
• 曲率分辨率: <= 2e-5 (1/m)
• 翘曲高度分辨率：<=0.01微米
• 倾斜度分辨率：<=0.01角秒