原位薄膜应力测量系统，用于实时原位测量在薄膜沉积或热处理过程中基片/晶元上薄膜的薄膜应力、应变和晶元曲率。
了解产品信息 →
MOS模块：原位薄膜应力测量模块，可安装在金属有机化学气相沉淀（MOCVD）系统上，对高速或低速旋转中的基片/晶元，实时测量由于薄膜生长或热处理引起的薄膜应力、应变和晶元曲率。
非原位薄膜应力测量系统，主要用于测量整个基片/晶元由于薄膜生长和热处理导致的薄膜应力、薄膜应变和晶元曲率、翘曲度、倾斜度的二维分布图。
随时竭诚为您服务是kSA的企业信仰与服务宗旨之一。kSA愿随时与您探讨各类测量项目需求。
