k-Space是一家全球领先的原位、在线和非原位薄膜计量工具制造商,旨在帮助用户改善工艺流程,从而提高盈利能力。我们的薄膜计量工具可用于监测几乎所有的薄膜沉积过程,包括分子束外延(MBE)、金属有机化学气相沉淀(MOCVD)、脉冲激光沉积(PLD)、物理气相沉积(PVD)、溅射和蒸发以及生产过程等。我们的产品利用光学成像技术对大量重要参数进行非接触、非侵入式测量,如晶圆和薄膜温度、薄膜应力和应变、晶圆曲率、曲翘度和倾斜度、表面粗糙度和质量、薄膜厚度和沉积率、光带间隙、原子间距以及其他定制非接触测量应用。
k-Space Associates, Inc.公司的产品于2001年开始进入中国市场。由中国光电技术研究所和上海技术物理研究所等机构研究人员发表的学术论文中均多次提到kSA出产的测量设备。