kSA薄膜测量仪器被广泛用于薄膜沉积/生长领域。kSA产品利用激光、白光、紫外光源和电子束等探头,检测控制薄膜制备工艺过程的重要参数,如温度、沉积速率、薄膜厚度、应力、曲率、翘曲度、反射率、表面粗糙度等多种材料特性,同时检测水平达到原子级别。
我们的薄膜分析设备主要用于先进的薄膜制备工艺方面信息的实时检测,涉及化合物半导体、硅半导体和光伏薄膜的生产与研发。
我们先进完善的软件分析和报告功能可以及时提供有用信息,以便用户更好地了解最终产品,或在批量生产期间进行在线控制,以提高产量。我们可以为用户量身定制光学元件和成套完整的解决方案,采用非侵入式的监测设计、安装便捷。我们产品的常见应用如下: