在薄膜生长过程中，精确测量和控制晶元的温度，是提高器件产量和性能的关键。k-Space提供五种原位薄膜/晶元温度测量设备，包含多种测试方法：kSA BandiT整合了带边吸收、黑体和高温测量技术，同时kSA ICE也都采用了kSA BandiT技术。kSA ICE是一款模块化的原位测量工具，除测量晶元温度外，还可以展其他的更多的功能测试模块。kSA SpectraTemp不仅用于绝对温度测量，还可用于校准高温计校准；kSA ScanningPyro石磨盘温度测量系统是一款专为金属有机化学气相沉淀（MOCVD）系统设计的扫描高温计。请参阅以下相关产品信息，选择最适合您的晶元和薄膜温度测量设备。
晶圆和薄膜温度
原位晶元温度和薄膜温度测量
kSA ICE
这是一款模块化原位测量设备，主要通过独立的发射率校正高温计（ECP）、黑体和/或带边吸收模块进行温度测量，可安装在石磨盘温度测量系统是一款专为金属有机化学气相沉淀（MOCVD）系统上，对高速或低速旋转过程中基片/薄膜进行温度检测。
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