了解薄膜厚度和沉积速率对于研究和生产来说都是至关重要的。k-Space Associates提供多种可用于实时数据采集和工艺控制的测量工具，例如kSA 400、kSA ICE、kSA Bandit、kSA MOS和kSA RateRat Pro等。在反射高能电子衍射（RHEED）分析方面，kSA 400拥有业界领先的技术和独特功能。kSA ICE是一种模块化测量工具，在金属有机化学气相沉淀（MOCVD）薄膜生长过程中，可实现各种测试功能。如需在高温计无法测量的范围内进行温度测量，kSA BandiT则是您的绝佳选择。若还需原位应力测量，则可选用kSA MOS。而且kSA RateRat Pro也是一款最基本的工艺控制和监测工具。
薄膜厚度和沉积率
kSA 400
适用于配备了反射高能电子衍射（RHEED）电子枪和荧光屏的薄膜生长系统，可通过反射高能电子衍射（RHEED）图样分析来确定成膜质量。反射高能电子衍射（RHEED）电子枪通常安装在分子束外延（MBE）和脉冲激光沉积 （PLD）设备上，偶尔也会安装在溅射沉积设备上。
kSA ICE
这是一款模块化原位测量工具，主要通过独立的发射率校正高温计（ECP）、MOS模块和/或RateRat模块进行测量，可安装在金属有机化学气相沉淀（MOCVD）系统上，对高速或低速旋转过程中基片/晶元进行相关监测。
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